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中型真空等离子处理机PR-PM120L

发布时间:2018-09-08 点击量:118

  • 中型真空等离子处理机PR-PM120L
  • 产品介绍
  • 产品参数

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气体路数:2路进气、1路放空

等离子发生器:5KW等离子体发生源,40KHz(可选13.56MHz)

工作气体可选:Ar2、N2、H2、O2

特 点:高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支持

用 途:适摄像头及指纹识别行业,手机制造、半导体IC领域,硅胶、塑胶、聚合体领域,汽车电子行业,航空工业等。

1、摄像头、指纹识别行业:软硬结合板的金PAD表面去氧化;IR表面清洗、清洁。

2、半导体IC领域:COB、COG、COF、ACF工艺,用于打线、焊接前的清洗

3、硅胶、塑胶、聚合体领域:硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化 。

4、高性能等离子发生器,激发更为稳定之等离子体。

产品名称:中型真空等离子处理机PM120L

机台整机规格:PM120L,1320(W)×1720(H)×1100(D)mm

真空室规格:PM120L, 进口铝 500(W)×500(H)×500(D)mm

电极板规格:PM120L,10层平板电极(482(W)×402(D)mm)可定制

控制系统:触摸屏+PLC控制

真空测定系统:皮拉尼真空计

气体计量系统:精确质量流量控制计 MFC

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